下軸采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大，
平臺采用氣浮導(dǎo)軌，無接觸，不摩擦，少維護(hù)，速度快、剛性好，
采用納米級光柵反饋，控制精度高。
ABT-XY-360360超高精度直線平臺有普通材質(zhì)版和陶瓷版兩種。
兩種材質(zhì)的平臺，下軸皆采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大；
平臺采用氣浮導(dǎo)軌，無接觸，不摩擦，少維護(hù)，速度快、剛性好；
采用納米級光柵反饋，控制精度高；
陶瓷版本采用了高純度的氧化鋁作為氣浮結(jié)構(gòu)件及導(dǎo)向原件，相對于花崗巖和金屬而言，氧化鋁陶瓷具有膨脹系數(shù)更小，且直線度、硬度、耐磨性更加的優(yōu)點(diǎn)。
| 參 數(shù) | 普通版 | 陶瓷版 |
| 有效行程 mm | 360*360 | |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） | |
| 重復(fù)定位精度 μm | ±0.15 | ±0.1 |
| 定位精度 μm | ±0.5 | ±0.3 |
| 平面度 μm | ±1 | ±0.5 |
| 直線度 μm | 1.5 | 1 |
| 電機(jī)類型 | 三相無鐵芯直線電機(jī) | |
| 上軸電機(jī)推力 | 持續(xù)90N 峰值310N | |
| 下軸電機(jī)推力 | 持續(xù)219N*2 峰值750N*2 | |
| 最大速度 m/s | 500mm/s | |
上軸空載加速度 g | 4.5G | |
| 下軸空載加速度 g | 3G | |
| 最小步長 nm | 10nm（搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器） | |
| 最大負(fù)載 kg | 50 | |
